|
|
|
МЕХАНИЗМЫ ФОРМИРОВАНИЯ МЕХАНИЧЕСКИХ НАПРЯЖЕНИЙ В ПЛЁНКАХ КАРБИДА КРЕМНИЯ И НИТРИДА АЛЮМИНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МАГНЕТРОННЫМ МЕТОДОМ
Асташенкова О.Н., Корляков А.В.
Санкт-петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им.Ульянова, Санкт-Петербург, Россия
|
Ссылка для цитирования:Citation:
Асташенкова О.Н. Механизмы формирования механических напряжений в плёнках карбида кремния и нитрида алюминия, полученных магнетронным методом / О.Н. Асташенкова, А.В. Корляков // Современная наука: исследования, идеи, результаты, технологии. - Днепропетровск: НПВК "Триакон". - 2014. - Вып. 2(15). - С. 57 - 61.
|
|
Ключевые
слова:Keywords:
механические напряжения; карбид кремния; нитрид алюминия; микромеханические мембраны; магнетронное осаждение |
|
Аннотация:Abstracts:
Приведены результаты определения внутренних механических напряжений в плёнках нитрида алюминия и карбида кремния, полученных методом магнетронного распыления. Показано влияние наведенного потенциала на подложке в процессе роста плёнок на их механические напряжения. Рассмотрены возможные механизмы формирования механических напряжений в плёнке в условиях возникновения наведённого потенциала. Показано, что внутренние механические напряжения в полупроводниковых плёнках сильно зависят от электродиффузии ионизированной примеси под действием градиента потенциала в пленке. |
|
Литература:References:
Korlyakov A.V., Luchinin V.V., Mal'tsev P.P. (1999) "SIC-ALN-based microelectromechanical structures" Russian microelectronics, - Vol.28, no.3, - рp. 168-177 Асташенкова О.Н., Корляков А.В. Контроль физико-механических параметров тонких плёнок, Нано- и микросистемная техника, №2, 2013 − с. 24-29 Бохов О.С., Духновский М.П., Козырев А.Б., Корляков А.В., Королев А.Н., Лагош А.В., Лучинин В.В., Топталов С.И. Низкопотребляющие малогабаритные радиотехнические модули на основе микроэлектромеханических ключей/ Нано- и микросистемная техника, 2012, №12, с. 60-71 Ефременко А.М., Корляков А.В., Кривошеева А.Н., Лучинин В.В. Получение текстурированных слоев нитрида алюминия для микромеханических актюаторов / Вакуумная техника и технология. - Т. 17, № 3, 2007. - с.189 - 198. Ефременко А.М., Корляков А.В, Асташенкова О.Н, Кривошеева А.Н. Низкотемпературный синтез текстурированных плёнок нитрида алюминия на инородных подложках для устройств микросистемной техники/ Нано- и микросистемная техника, №12, 2012. − с. 25-30
|
|
|
