ГАЗОДИНАМИЧЕСКИЕ И ТЕПЛОВЫЕ ПРОЦЕССЫ ПРИ СИНТЕЗЕ ТРИХЛОРСИЛАНА ВОДОРОДНЫМ ВОССТАНОВЛЕНИЕМ ТЕТРАХЛОРИДА КРЕМНИЯ В ВЧ-РАЗРЯДЕ

 

2013 1(12)

Вернуться в содержание

   Краткая аннотация

 

Страницы:

178 - 183

Язык:

RU

Библ.:

15


Скачать статью:

2013_1(12)_31.pdf

 

 

ГАЗОДИНАМИЧЕСКИЕ И ТЕПЛОВЫЕ ПРОЦЕССЫ ПРИ СИНТЕЗЕ ТРИХЛОРСИЛАНА ВОДОРОДНЫМ ВОССТАНОВЛЕНИЕМ ТЕТРАХЛОРИДА КРЕМНИЯ В ВЧ-РАЗРЯДЕ

Гусев А.В., Корнев Р.А., Шапошников В.А.

Институт химии высокочистых веществ им.Г.Г.Девятых РАН, Нижний Новгород, Россия


Ссылка для цитирования:Citation:

Гусев А.В. Газодинамические и тепловые процессы при синтезе трихлорсилана водородным восстановлением тетрахлорида кремния в ВЧ-разряде / А.В. Гусев, Р.А. Корнев, В.А. Шапошников // Современная наука: исследования, идеи, результаты, технологии. - Днепропетровск: НПВК "Триакон". - 2013. - Вып. 1(12). - С. 178 - 183.


Ключевые слова:Keywords:

плазмохимических синтез; математическое моделирование; газодинамика; теплообмен


Аннотация:Abstracts:

Приведены результаты численного моделирования газодинамических и теплообменных процессов в задаче плазмохимического синтеза трихлорсилана в ВЧ разряде. Исследования проводились для оптимальных условий получения трихлорсилана с использованием современных вычислительных технологий гидрогазодинамики, что позволило детализировать поля скоростей и температур, расходы газа в области плазмы, а также определить температурный интервал реакционной зоны, составляющий 900 – 1760К и коэффициент попадания газовой смеси в область плазмы.


Литература:References:

  1. Гранков И.В Производство полупроводникового кремния за рубежом / Гранков И.В., Захаров - Черенков В.К., Иванов Л.С., Сивошинская Т.И.-М.: ЦНИИцветмет экономики и информации, 1983, -38 с.

  2. Русанов В.Д. Физика химически активной плазмы / Русанов В.Д., Фридман А.А. - М.: Наука, 1984, - 415 с.

  3. Карпов А.П. Термодинамический анализ процессов восстановления хлоридов / Карпов А.П., Сурис А.Л., Шорин С.Н. // "II Симпозиум по плазмохимии Тезисы докладов Т.2" Рига. - 1975. -С.178-181.

  4. Sarma K.R., Chanley C.S. Способ гидрирования тетрахлорида кремния. Патент 4542004 США, 1985. Sarma K.R., Rice jr.M.J. (1985) Sposob gidrirovaniya tetrakhlorida kremniya [Process for the hydrogenation of silicon tetrachloride], United States Patent 4542004.

  5. Райзер Ю.П. Физика газового разряда / Райзер Ю.П.- М.: Наука, 1987, - 592 с.

  6. Гусев А.В. Получение трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния / Гусев А.В., Корнев Р.А., Суханов А.Ю. //Неорганические материалы. - 2006. - Том 42. - №9. - С. 1123 - 1126. - Библиогр.: С.21.

  7. Крашенинников Е.Г. Диссоциация сероводорода в ВЧ разряде / Крашенинников Е.Г., Русанов В.Д., Санюк С.В., Фридман А.А. // ЖТФ. - 1986. - Том 56. - №3. - С. 32 - 38. - Библиогр.: С.5.

  8. Крылов В.А. Высокочувствительное газохроматографическое определение примесей углерод- и водородсо- держащих веществ в тетрахлориде кремния / Крылов В.А., Салганский Ю.М., Чернова О.Ю. // ЖАХ. - 2001. - Том 56. - №9. - С. 956-961. - Библиогр.: С.18.

  9. Sarma K.R., Rice jr.M.J. Способ гидрирования тетрахлорида кремния. Патент 4309259 США, 1982. Sarma K.R., Rice jr.M.J. (1982) Sposob gidrirovaniya tetrakhlorida kremniya [Process for the hydrogenation of silicon tetrachloride], United States Patent 4309259.

  10. Wolf Е. und Teichmann R. (1980). Zur Thermodynamik des Systems Si - Cl - H //Z. anorg. allg. Chem. 460, pp. 65 - 80.

  11. Sirtl E., Hunt L.P., and Sawyer D.H. (1974) "High Temperature Reactions in the Silicon - Hydrogen - Chlorine System", Journal of The Electrochemical Society, Vol. 121 No. 7.

  12. Фурман А.А. Неорганические хлориды / Фурман А.А. - М.: Химия,1980, - 416 с.

  13. Рабинович В.А. Краткий химический справочник / Рабинович В.А., Хавин З.Я. -Л.: Химия, 1991, - 432 c.

  14. Нигматулин Р.И. Динамика многофазных сред. Часть.1. - М: Наука, Глав. изд.ф.-м. лит-ры, 1987. - 464 С.

  15. Сивошинская Т.И. Переработка тетрахлорида кремния, образующегося в производстве полупроводникового кремния / Сивошинская Т.И., Гранков И.В., Шабалин Ю.П., Иванов Л.С. - М.: ЦНИИцветмет экономики и информации, 1989, 43c.

 

 
     

© НПВК "Триакон" 2009-2016