2013 1(12)

Вернуться в содержание

   Краткая аннотация

 

Страницы:

171 - 177

Язык:

RU

Библ.:

16


Скачать статью:

2013_1(12)_30.pdf

 

 

МОДЕЛИРОВАНИЕ ГАЗОДИНАМИЧЕСКИХ И ТЕПЛОВЫХ ПРОЦЕССОВ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЙ КОНВЕРСИИ ТЕТРАХЛОРИДА КРЕМНИЯ В СВЧ-РАЗРЯДЕ

Гусев А.В., Корнев Р.А., Шапошников В.А.

Институт химии высокочистых веществ им.Г.Г.Девятых РАН, Нижний Новгород, Россия


Ссылка для цитирования:Citation:

Гусев А.В. Моделирование газодинамических и тепловых процессов плазмохимической конверсии тетрахлорида кремния в СВЧ-разряде / А.В. Гусев, Р.А. Корнев, В.А. Шапошников // Современная наука: исследования, идеи, результаты, технологии. - Днепропетровск: НПВК "Триакон". - 2013. - Вып. 1(12). - С. 171 - 177.


Ключевые слова:Keywords:

плазмохимическая конверсия; численное моделирование; газодинамика; теплообмен


Аннотация:Abstracts:

Приведены результаты численного моделирования газодинамических и теплообменных процессов в задаче плазмохимической конверсии тетрахлорида кремния в СВЧ-разряде (2,45 ГГц) при давлении 6,65 кПа(50 торр). Исследования проводились для оптимальных условий получения кремния с использованием современных вычислительных технологий гидрогазодинамики, что дало возможность детализировать поля скоростей и температур, расходы газа в области плазмы, а также определить температурный интервал реакционной зоны составляющий 2000 – 2500К и время пребывания реагентов в реакционной зоне t = 6•10-3с.


Литература:References:

  1. Гранков И.В Производство полупроводникового кремния за рубежом / Гранков И.В., Захаров - Черенков В.К., Иванов Л.С., Сивошинская Т.И.-М.: ЦНИИцветмет экономики и информации, 1983, -38 с.

  2. Франк Д.А. Плазма - четвертое состояние вещества / Франк Д.А. -М.: Атомиздат, 1975, -159 с.

  3. Карпов А.П. Термодинамический анализ процессов восстановления хлоридов / Карпов А.П., Сурис А.Л., Шорин С.Н. // "II Симпозиум по плазмохимии Тезисы докладов Т.2" Рига. - 1975. -С.178-181.

  4. Sarma K.R., Chanley C.S. Способ гидрирования тетрахлорида кремния. Патент 4542004 США, 1985. Sarma K.R., Rice jr.M.J. (1985) Sposob gidrirovaniya tetrakhlorida kremniya [Process for the hydrogenation of silicon tetrachloride], United States Patent 4542004.

  5. Райзер Ю.П. Физика газового разряда / Райзер Ю.П.- М.: Наука, 1987, - 592 с.

  6. Русанов В.Д. Физика химически активной плазмы / Русанов В.Д., Фридман А.А. - М.: Наука, 1984, - 415 с.

  7. Пархоменко В.Д. Расчет некоторых характеристик плазменных струй в сносящем потоке газа / Пархоменко В.Д., Сорока П.И., Ганз С.Н. // Теоретические основы химической технологии. - 1974. -Том 8. - №1. - С. 60 - 65. - Библиогр.: С.8.

  8. Пархоменко В.Д. К расчету характеристик плазменных струй в сносящем потоке газа / Пархоменко В.Д., Сорока П.И., Ганз С.Н. // Теоретические основы химической технологии. - 1974. - Том 8. - №2. - С. 307 - 311. - Библиогр.: С.10.

  9. Гусев А.В. Исследование процесса водородного восстановления тетрахлорида кремния в СВЧ-разряде / Гусев А.В., Корнев Р.А., Суханов А.Ю.// Химия высоких энергий. - 2013. - Том 47. - №5. - С. 403 - 405. - Библиогр.: С.9.

  10. Крашенинников Е.Г. Диссоциация сероводорода в ВЧ разряде / Крашенинников Е.Г., Русанов В.Д., Санюк С.В., Фридман А.А. // ЖТФ. - 1986. - Том 56. - №3. - С. 32 - 38. - Библиогр.: С.5.

  11. Крылов В.А. Высокочувствительное газохроматографическое определение примесей углерод- и водородсо- держащих веществ в тетрахлориде кремния / Крылов В.А., Салганский Ю.М., Чернова О.Ю. // ЖАХ. - 2001. - Том 56. - №9. - С. 956-961. - Библиогр.: С.18.

  12. Фурман А.А. Неорганические хлориды / Фурман А.А. - М.: Химия,1980, - 416 с.

  13. Нигматулин Р.И. Динамика многофазных сред. Часть.1. - М: Наука, Глав. изд.ф.-м. лит-ры, 1987. - 464 С.

  14. Гусев А.В. Конверсия тетрахлорида кремния в микроволновой плазме / Гусев А.В., Корнев Р.А., Суханов А.Ю., Шапошников В.А.// "Плазменные технологии исследования, модификации и получения материалов различной физической природы Тезисы докладов" , Казань. - 2012. - С. 236 - 237.

  15. Нестер С.А. Кинетико-статическое моделирование химических реакций в газовом разряде / Нестер С.А., Потапкин Б.В., Левицкий А.А., Русанов В.Д., Трусов Б.Г., Фридман А.А. - М.: ЦНИИ атоминформ, 1988, - 353 С.

  16. Полак Л.С. Теоретическая и прикладная плазмохимия / Полак Л.С., Овсянников А.А., Словецкий Д.И., Вурзель Ф.Б. -М.: Наука, 1975, - 304 с.

 

 
     

© НПВК "Триакон" 2009-2016